Wytwarzanie struktur o rozmiarach mierzonych w nanometrach wymaga odejścia od klasycznych praw optyki, które przez dekady definiowały możliwości przemysłu półprzewodnikowego. Kiedy granica fizyczna tradycyjnej litografii zanurzeniowej stała się barierą nie do przebicia, konieczne było znalezienie sposobu na radykalne skrócenie długości fali światła używanego do naświetlania wafli krzemowych. Rozwiązaniem okazała się litografia w ekstremalnym ultrafiolecie (EUV),… Czytaj dalej Jak powstają nanometry? Proces litografii EUV